真空熱處理的缺點：
1、容易產生蒸發現象。在真空中加熱，有些飽和蒸氣壓較高的金屬元素如鉻、銅、錳、鋁、鉛、鋅等，隨著溫度和真空度的升高會產生蒸發，使材料表面元素缺失，改變材料的表面性能，表面光潔度也隨之下降。金屬蒸發后的部分再沉積也將污染真空爐。因而在真空加熱過程中有時需要向真空爐內充入微量保護氣體(如純氮氬)，以保護氣體的壓力抑制高蒸氣壓的金屬的蒸發乃至升華現象發生。
2、放電現象的發生。真空狀態時，在一定的氣壓和電壓條件下，稀薄氣體易電離產生輝光或弧光電弧。如電阻加熱的電極處，感引器的電引入裝置構件時，真空室內設置的電動機接線端子及其從真空室引出處，真空爐內的照明接線處等容易發生。其結果使這些端子過熱氧化，絕緣等級下降或局部燒損。嚴重時會發生電氣短路乃至燒毀這些構件。為減少和消除放電現象的發生，設計制造者采取的措施是降低電氣元件的輸入電壓(如真空爐加熱器和真空室照明電源的輸入電壓往往設計為36V左右，更高不超過70V)和調整電氣工作時的氣體壓力，實踐證明是行之有效的。
3、對設備操作者的文化素質等要求較高。因真空爐的控制、顯示、操作儀表較多，設備運行過程環節嚴謹。涉獵物理、化學、計算機、機械、電氣的多方面基礎知識。需要操作者對設備工作過程有較清晰的認知水平和反應能力以及操作調整技能。
4、和普通非真空和保護氣氛爐比較，真空熱處理爐設備相對復雜，設備投資較大。
