真空熱處理是真空技術與熱處理技術相結合的新型熱處理技術，真空熱處理所處的真空環境指的是低于一個大氣壓的氣氛環境，包括低真空、中等真空、高真空和超高真空。

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真空熱處理實際也屬于氣氛控制熱處理，它是指熱處理工藝的全部和部分在真空狀態下進行的，熱處理質量大大提高。
與常規熱處理相比，真空熱處理的同時，可實現無氧化、無脫碳、無滲碳，可去掉工件表面的磷屑，并有脫脂除氣等作用，從而達到表面光亮凈化的效果。
真空熱處理過程中，控制加熱溫度的方法主要有以下兩種：
設定溫度和加熱速率：在真空熱處理設備中，需要先設定所需溫度和加熱速率。這些參數通常基于材料的類型和所需要的性能進行選擇。通常，加熱速率在5攝氏度/分鐘到20攝氏度/分鐘之間。
實時監測溫度：爐內應該有一個精確的溫度傳感器，可以實時監測溫度并將數據反饋給控制系統。該控制系統根據設定值和實際溫度值之間的差異進行自動調整，以確保溫度持續穩定。