氮化真空熱處理是一種表面處理技術，它利用真空爐對工件進行整體加熱，并在低壓狀態下通過充入少量氣體（以氨氣為主，含有活性物質的多種復合氣體）使氮原子在特定介質中滲透到工件表面，實現表面滲氮。

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氮化真空熱處理的主要目的是提高金屬或合金表面的硬度、耐磨性和抗疲勞性能。
在氮化真空熱處理過程中，爐內的氣體送入量需要得到精確控制，爐壓也要控制在一定范圍內，同時，工件被加熱至特定溫度，保溫一定時間后，使用爐內惰性氣體進行快速冷卻，經過這樣的處理，工件表面會形成一層硬度較高的氮化物層，優化材料的物理和機械性能，如提高抗腐蝕性和抗氧化性。
氮化真空熱處理具有減少環境污染的優點，因為它能減少有害氣體的排放，同時，這種技術還可以減少工件的變形和開裂傾向，改善工件的應力狀態。
氮化真空熱處理對工件的影響主要體現在以下幾個方面：
表面硬度提升：通過滲氮處理，氮化真空熱處理可以在金屬或合金表面形成一層硬度較高的氮化物層，這種氮化物層顯著提高了工件表面的耐磨性和抗疲勞性能，使得工件在受到外力作用時，更能抵抗劃痕、磨損和變形。
物理和機械性能優化：氮化真空熱處理可以改變金屬表面的成分和結構，從而優化材料的物理和機械性能，例如，它可以提高工件的抗腐蝕性和抗氧化性，使其在惡劣環境中也能保持較好的性能。
變形和開裂傾向減少：在氮化真空熱處理過程中，金屬表面的應力狀態會發生變化，這有助于減少工件的變形和開裂傾向，這對于保證工件的形狀精度和尺寸穩定性非常重要。
環保性：采用真空熱處理技術，氮化真空熱處理可以減少有害氣體的排放，降低對環境的污染，符合現代工業綠色發展的要求。